高純度特種氣體（硅烷SiH4、磷烷PH3、砷烷AsH3）廣泛應用于電子行業(yè)、太陽能電池、移動通訊、汽車導航、航空航天、軍事工業(yè)等方面。目前我國只能生產純度在3N~4N標準的特種氣體，而在許多重要領域，比如：國家戰(zhàn)備武器研究和神州五號運載火箭上的控制系統的電子原器件的制造，以及衛(wèi)星上使用的太陽能電池的制造等方面所急需的6N標準的氣體全部依靠進口。目前世界上只有美國、俄羅斯等發(fā)達國家才能生產。美國的SOLKATRONIC公司經銷該種氣體，我國進口該種氣體常常因國際形勢緊張和變化而受到阻礙，因此直接制約了上述相關領域的發(fā)展。白俄羅斯無線電材料研究所在前蘇聯時期承擔了研制高純度特種氣體的任務，具備研制和生產這種氣體的能力。經過磋商，白方愿同我方合作，提供技術共同開發(fā)該項產品。本項目主要利用該所研制的烷類氣體深度提純技術，在中國建立高純度特種氣體的研究基地及產業(yè)化基地，解決我國急需的高純氣體材料的國產化問題，使硅烷、磷烷、砷烷氣體的純度達到6N（99.9999%）。該項目在國內屬首創(chuàng)，技術指標達到國際同行業(yè)先進水平，填補我國高純度特氣生產空白，徹底改變我國電子特氣長期受制于人的局面。

二、    國內外現狀
中國的超純度特種氣體研制始于1983年，當時從事這一工作的單位有北京氧氣廠、浙江大學、大連光明化學所和保定紅星單晶硅廠，.研究的內容為超純氣體和烷類氣體。
“七五”期間，國家科委委托電子部、化工部牽頭，組織電子氣體攻關招標會，中標的單位南京特種氣體廠(公司)、中科院沈陽金屬研究所、大連光明所、核工業(yè)部理化研究院和南京大學。攻關項目主要有烷類氣體、化學氣體刻蝕氣體、高熔點氟化物金屬氣體、金屬有機化合物(“MO”源)、氣瓶處理技術和配套器件的研制，涉及氣體品種20多種。
1991年，國家又在“八五”科技攻關項目—集成電路用關鍵材料研究課題下，又專設了“電子特種氣體研究”
的子課題，開始了新一**關。
我國對于超純度特種氣體的研究前后經歷了20多年的努力，但收效不大，雖然開發(fā)出了一批特種氣體，但質量一般，基本滿足2~3µm技術(即中小規(guī)模集成電路用的氣體)，而超大(VLSI)和特大(ULSI) 規(guī)模集成電路的用氣仍然不能生產，尤其是純度超過6N的氣體還得全部依靠進口來解決。
從國外情況看，由于美國在技術上封鎖、在產品銷售上限制，我國無法將該項技術引入國內。