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廣州市譜源氣體有限公司
六氟乙烷的應用
2012-2-13 17:43:12
電子工業(yè)：六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發(fā)展微電子工業(yè)方面起著重要作用，是加工超大規(guī)模集成塊工藝中所必需的介質；
制冷空調業(yè)：六氟乙烷右用做制冷和空調的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環(huán)中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物；
化學工業(yè)：六氟乙烷可用做化學反應中的添氟劑；
電力工業(yè)：六氟乙烷可用做電氣設備的絕緣劑和高介電強度冷卻劑；
其它：六氟乙烷可用于器件表面清洗，還可用于光纖生產。
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